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真空計・圧力センサ（センサ・モニタ構造：分離形・コネクタ接続）

真空計の通販サイトです。クリスタルゲージ、ピラニゲージ、イオンゲージ、コールドカソードピラニゲージ、ワイドレンジ、キャパシタンスゲージ等幅広く取り揃えています。
こちらのサイトでお探しの真空ポンプを商品仕様、型番、メーカー名等で検索できます。真空度に合わせて、求められる真空計が異なりますので用途にあった真空計を選定するようにしてください。
アルバック、VISTA、妙徳、山本計器製造をお取り扱い。その他国内外ブランドのお取り扱いもご要望に応じて適宜検討いたします。

【真空計詳細】
周囲の圧力よりも低い圧力を測定する圧力計を真空計といいます。1台で大気圧から高真空を測定できる真空計は無く、1個の端子に2種類の真空計を入れて、大気圧から高真空が測定可能な複合真空計もございます。

真空配管 クリーン洗浄品

8件

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  • ピラニ真空計 GP-Gシリーズ

    アルバック

    ピラニ真空計 GP-Gシリーズ

    評価 5.0 平均満足度5.0
    ピラニ真空計のスタンダード・GP-Gシリーズ。手軽に低真空領域の圧力が測定出来る用途の広い真空計です。また、セットポイント付では、各種インターロックや排気シーケンスのコントロールにも利用できます。【特長】・低真空領域の測定が可能。気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計・測定子の互換性あり。WPシリーズの測定子を採用・フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用・測定値出力信号。圧力はDC0～10VのLog出力の標準装備（GP-1000G）・デジタル出力標準装備。BCD出力の標準装備（GP-1000G）・シリアル通信仕様。RS232C通信が標準装備（GP-1000G）・制御出力信号。セットポイント2点（GP-1GRY）、3点（GP-1000G/GP-2001G）の出力可能・見やすいLED表示。4.5桁表示（GP-2001G）・DIN規格を採用。コンパクトサイズの96×48DIN規格（GP-2001G）【用途】・真空粗引系の圧力測定・各種真空排気系の圧力モニタ・真空応用機器のインターロック、シーケンス制御などの制御系に・真空応用機器のプロセス制御
    種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径
    圧力センサ 分離形・コネクタ接続 - - - - -
    通常価格(税別) ： 11,095円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • スマートフォン対応ピラニ真空計

    アルバック

    スマートフォン対応ピラニ真空計

    評価 0.0
    【特長】・スマートフォンとのダイレクト接続です・USBケーブルによりスマートフォンとダイレクト接続（特許出願中）します・その他の設備は不要です・パソコンとの接続も可能です【用途】・真空ポンプメンテナンス時の到達圧力確認に・真空装置メンテナンス時の圧力確認に【材質】・測定子フィラメント：白金（Pt）
    種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径
    圧力センサ 分離形・コネクタ接続 下 おねじ / フランジ Rc(R) 1/8 -
    通常価格(税別) ： 59,800円～
    通常出荷日 ： 2日目～

  • ピラニゲージ／ピラニゲージ（耐蝕型） 【M-350PG／M-351PG】

    キヤノンアネルバ

    ピラニゲージ／ピラニゲージ（耐蝕型） 【M-350PG／M-351PG】

    評価 0.0
    ピラニゲージ。【概要】・大気圧から測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。・低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。【特長】・低・中真空領域の測定に最適。【用途】・粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御など。ピラニゲージ（耐蝕型）。【概要】・Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。【特長】・耐食性の向上。・再現性がよく低価格。・5×10の-2乗Paから大気圧。・取付方向の制約なし。【用途】・半導体、電子デバイス製造装置、ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など。・食品・医薬品製造装置、真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など。
    種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径
    圧力センサ 分離形・コネクタ接続 下 フランジ - - -
    通常価格(税別) ： 51,300円
    通常出荷日 ： 14日目

  • 電離真空計（マルチイオンゲージ）

    アルバック

    電離真空計（マルチイオンゲージ）

    評価 0.0
    【特長】・マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。・PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。・真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。・フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。・大気圧から高真空領域（10^5～10^-8 Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）です。【用途】・半導体や電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御・インライン式、枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認・高真空、超高真空装置の圧力測定【材質】・測定子フィラメント：白金（Pt）【セット内容】・SH200-A・SWU10-R・SH200用測定子 M45・SWU10-R専用測定子 SWP-25・SWU接続用ユニットケーブル 0.5m・ISG1・ISG1接続用ディスプレイケーブル
    種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径
    圧力センサ 分離形・コネクタ接続 下 フランジ - - -
    通常価格(税別) ： 355,200円
    通常出荷日 ： 2日目

  • イオンゲージ （熱陰極電離真空計）【M-311HG】

    キヤノンアネルバ

    イオンゲージ （熱陰極電離真空計）【M-311HG】

    評価 0.0
    【概要】・トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。・イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。・センサはミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。【特長】・ワイドな圧力測定範囲。・10の-7乗Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能。・高応答アナログ出力。・圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能。・4つのエミッション電流設定モード。・高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能です。・省スペース・低消費電力。【用途】・生産用真空装置の圧力測定。・半導体スパッタリング装置の圧力測定。・各種真空装置。
    種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径
    圧力センサ 分離形・コネクタ接続 下 フランジ - - -
    通常価格(税別) ： 223,060円
    通常出荷日 ： 9日目

  • ピラニ真空計 PGシリーズ

    東京電子

    ピラニ真空計 PGシリーズ

    評価 0.0
    信頼性の高い定温度型ピラニゲージ。熱伝導真空計の一種で、フィラメントを通電加熱し、温度変化を抵抗値の変化として測定する真空計です。【特長】・熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。・小型なボディで、装置組み込みの際に省スペース化を図ることができます。・表示は操作しやすいデジタル方式で、電源はAC100V（PG-20）とDC24V（PG-30）の2種類から選択が可能です。
    種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径
    圧力センサ 分離形・コネクタ接続 - - - - -
    通常価格(税別) ： 111,720円
    通常出荷日 ： 19日目

  • ピラニ真空計 PGE050

    インフィコン

    ピラニ真空計 PGE050

    評価 0.0
    大気圧近辺もこれ1台で測定可能なコンベクション型ピラニ真空計。【特長】・広い測定範囲と大気圧近くでの高精度を可能にするコンベクション型ピラニテクノロジー。・金メッキ加工のタングステン・フィラメント。・衝撃や振動の影響を受けにくい堅牢な筐体。・8種類から選択可能なフランジ形状。・CEマーキング。・Granville-Phillips製コントローラに接続可能。
    種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径
    圧力センサ 分離形・コネクタ接続 下 フランジ - - -
    通常価格(税別) ： 24,858円～
    通常出荷日 ： 8日目～

  • ASG2 アクティブストレインゲージ

    ＥＤＷＡＲＤＳ

    ASG2 アクティブストレインゲージ

    評価 0.0
    堅牢で耐食性に優れたダイヤフラムゲージです。システム設計の簡素化と貴重なラックスペースの節約を実現。【特長】・標準アナログ出力により、コンピュータやPLCとの連携可能・耐食性のある堅牢な構造で、高い精度と安定性・大気圧に近い高圧下でも変化検知できる優れた高圧測定ソリューション
    種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径
    圧力コントローラ 分離形・コネクタ接続 - - - - -
    通常価格(税別) ： 17,431円
    通常出荷日 ： 10日目
メーカー
シリーズ名
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
センサ・モニタ構造
配管接続方向
配管口の種類
配管ねじの種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径

    ピラニ真空計 GP-Gシリーズ

      スマートフォン対応ピラニ真空計

        ピラニゲージ／ピラニゲージ（耐蝕型） 【M-350PG／M-351PG】

          電離真空計（マルチイオンゲージ）

            イオンゲージ （熱陰極電離真空計）【M-311HG】

              ピラニ真空計 PGシリーズ

                ピラニ真空計 PGE050

                  ASG2 アクティブストレインゲージ

                  メーカー

                  アルバック

                  アルバック

                  キヤノンアネルバ

                  アルバック

                  キヤノンアネルバ

                  東京電子

                  インフィコン

                  ＥＤＷＡＲＤＳ

                  シリーズ名

                  ピラニ真空計 GP-Gシリーズ

                  スマートフォン対応ピラニ真空計

                  ピラニゲージ／ピラニゲージ（耐蝕型） 【M-350PG／M-351PG】

                  電離真空計（マルチイオンゲージ）

                  イオンゲージ （熱陰極電離真空計）【M-311HG】

                  ピラニ真空計 PGシリーズ

                  ピラニ真空計 PGE050

                  ASG2 アクティブストレインゲージ

                  通常価格
                  (税別)

                  11,095円～

                  59,800円～

                  51,300円

                  355,200円

                  223,060円

                  111,720円

                  24,858円～

                  17,431円

                  通常出荷日 在庫品1日目～
                  一部当日出荷可能                  		 2日目～ 14日目 2日目 9日目 19日目 8日目～ 10日目
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                  センサ・モニタ構造分離形・コネクタ接続分離形・コネクタ接続分離形・コネクタ接続分離形・コネクタ接続分離形・コネクタ接続分離形・コネクタ接続分離形・コネクタ接続分離形・コネクタ接続
                  配管接続方向-下下下下-下-
                  配管口の種類-おねじ / フランジフランジフランジフランジ-フランジ-
                  配管ねじの種類-Rc(R)------
                  配管ねじの呼び-1/8------
                  接続チューブ径--------
                  1. 1

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