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本体/周辺部品
本体

周辺部品
解除

種類
- スライダ
- ロッド
- 回転軸
- 関連部品
解除

ストローク(mm)
4

4.5

8

8.5

10

12

12.5

15

20

20.5

25

30

35

40

50

60

65

70

75

80

100

120

125

140

150

160

175

180

200

220

240

250

260

280

300

320

340

350

360

380

400

420

440

450

460

480

500

520

540

550

560

580

600

620

640

650

660

680

700

720

740

750

760

780

790

800

820

840

850

860

880

890

900

920

940

950

960

980

1000

1020

1040

1050

1060

1080

1100

1120

1140

1150

1160

1180

1200

1220

1240

1250

1260

1280

1300

1320

1340

1350

1360

1380

1400

1440

1450

1460

1500

1520

1550

1560

1580

1600

1620

1640

1650

1680

1700

1740

1750

1760

1800

1850

1860

1900

1920

1950

1980

2000

2040

2050

2100

2150

2160

2200

2220

2250

2280

2300

2340

2350

2400

2450

2460

2500

2520

2550

2580

2600

2640

2650

2700

2750

2760

2800

2820

2850

2880

2900

2940

2950

3000

3050

3060

3100

3120

3150

3180

3200

3240

3250

3300

3350

3360

3400

3420

3450

3480

3500

3540

3550

3600

3650

3660

3700

3720

3750

3780

3800

3850

3900

3950

4000

4050
解除

最大可搬質量範囲（水平）(kg)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
0～2.0

2.1～5.0

5.1～10.0

10.1～20.0

20.1～50.0

50.1～100.0

100.1～150.0

150.1～
解除

最大可搬質量（水平）(kg)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
0.2

0.5

0.75

1

1.5

2

2.4

2.5

3

4

4.4

4.5

5

5.5

6

7

7.3

7.5

8

8.2

9

10

11

11.9

12

13.3

14

15

16

16.6

17

18

18.3

19

20

23

25

26

30

33

33.3

34

35

36.6

38

39.5

40

43.3

44

45

47

50

50W：10、100W：15

50W：15、100W：30

55

60

65

67

70

75

80

85

88

90

95

100

110

115

120

150

200

253

270

324

507

608
解除

最大可搬質量範囲（垂直）(kg)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
0～2.0

2.1～5.0

5.1～10.0

10.1～20.0

20.1～50.0

50.1～100.0

100.1～
解除

最大可搬質量（垂直）(kg)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
0.05

0.1

0.18

0.2

0.25

0.4

0.5

0.8

1

1.5

2

2.5

3

3.3

3.5

4

4.1

4.5

5

6

6.5

7

7.5

8

8.3

8.5

9

9.1

10

11

11.6

12

12.5

13

14

15

16

16.6

17

18

18.3

18.5

19

20

21

22

23

24

25

27

28.5

29

30

33

35

37

38

38.3

39

40

41

42

43

44

45

46

50

50W：2.5、100W：5

50W：5、100W：10

51

53

55

60

70

72

75

91

97

115

116

182

218
解除

駆動方式
転造ボールねじ

研削ボールねじ

ベルト

ギヤ

すべりねじ

リニアモータ

ラック＆ピニオン
解除

ガイド
なし

あり
解除

リード(mm)
0.01

1

2

2.5

2.86

3

4

05

5

6

8

10

12

16

20

24

25

25相当

27

30

32

40

42

48

48相当

50

54相当
解除

入力電源
DC24V

AC単相100-115V

AC単相200-230V

AC三相200-230V

AC単相100-120V

AC単相200-240V

DC24V/DC48V

AC単相/三相200-240V

AC単相/三相220V±10%
解除

位置検出
インクリメンタル

アブソリュート
解除

入出力種類
NPN

PNP

CC-Link

DeviceNet

Profibus

Ethernet

なし

EtherCAT

IO-Link

PROFINET

INPOS信号
解除

テーブル幅 W1(mm)
19

20

24

24.5

25

28

32

32.2

36

37

39.4

40

40.2

41

42

42.6

45

47

49

50

50.4

52

52.5

53

54

55

56

58

60

61

64

65

69

71.7

72

72.4

74

80

81

87

87.4

94

98

100

104

105

108.7

110

117

119

122

124.7

129

130

134

135

136

145

146

150

151

154

156

168

169

179

180

200

202

214

230
解除

ブレーキ
なし

あり
解除

最大推力（範囲）(N)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
～100

101～200

201～300

301～500

501～1000

1001～
解除

最大推力(N)
メーカーにより、算出方法が異なります。詳細は各メーカーの技術データをご確認ください
2.5

5

5.2

5.5

6

7.5

9.8

10

11

15

18～27

19.6

20

24

25

27

29.4

30

35

36

38

40

42

42～65

43

44

45

49

50

50W：85、100W：170

50W：170、100W：340

51

55

56

58

58.8

60

61

62

68.6

69

70

72

74

75

76

80

84

85

86

88.2

89

90

98

100

107.8

110

111

113

117

117.6

118

120

121

122

125

130

131

137.2

140

141

147

150

152

157

169

170

176.4

177

180

186.2

189

193

196

197

200

200W:174、400W：374

200W:340、400W：694

200W:683、400W：1388

204

208

210

213

220

238

245

250

255

270

283

294

300

308

320

330

339

340

341

347

360

370

385

392

397

400

420

441

442

450

452

468

477

485

490

500

510

521

539

550

553

588

600

609

637

640

678

680

683

694

707

736

812

833

854

900

970

1012

1020

1050

1058

1196

1270

1350

1360

1388

1568

1790

1910

2100

2244

2550

3343
解除

ノイズフィルタ
なし

あり
解除

テーブル長 L1(mm)
31

44

45

58

59

60

64

65

68

69

70

72

76.4

76.5

78

79

80

81

82

86

88.2

88.5

88.7

90

99

100

102

102.3

102.5

107.4

108

110

111

113.2

116

116.5

118.5

120

121.5

122

130

130.3

130.5

131.5

131.7

133.5

135

137

140

142.5

143

150

152

154

155

156.5

156.7

158

159.5

160

167

170

172

174.3

174.5

180

183

188

190

191.5

192

193.5

199.3

199.5

207

213

220

230

250

266.5

285

291.5

316.5
解除

使用環境
標準

防塵

防滴
解除

繰返し位置決め精度(μm)
±0.02

±3

±3（先端部）、±5（上部）

±3（先端部）、±10（上部）

±5

10

±10

±10（先端部）、±20（上部）

15

±15

20

±20

30

±40

50

±50

±60

80

±80

±90

±100

±200
解除

最高速度(mm/sec)
20

33

40

50

70

75

80

85

92

95

100

105

110

120

125

130

135

150

160

166

170

175

180

185

190

200

210

220

225

230

235

240

250

260

270

300

310

320

325

330

340

346

350

360

370

380

390

400

410

415

420

440

450

460

470

475

480

490

500

510

520

540

550

570

580

600

610

620

625

630

640

650

660

700

720

740

750

760

780

800

820

830

850

900

910

930

940

950

1000

1050

1080

1100

1110

1140

1170

1200

1250

1390

1400

1410

1500

1580

1600

1800

1875

2000

2400

3000

66000

72000

75000

78000

84000

90000
解除

メーカー
ミスミ (0)

エコノミーシリーズのみ表示 (0)

SMC (12)

ヤマハ発動機 (0)

ＣＫＤ (0)

オリエンタルモーター (0)

マシンエンジニアリング (0)

コガネイ (0)

TOYO ROBOT（トーヨーロボット） (0)

アイセル (0)
解除
CAD
2D

3D
解除

単軸ロボット（入出力種類：IO-Link）

12件

表示件数:

出荷日:

電動アクチュエータスライダタイプボールねじ駆動 LEFSシリーズステップモータ・サーボモータ

SMC

電動アクチュエータスライダタイプボールねじ駆動 LEFSシリーズステップモータ・サーボモータ

評価 4.0 平均満足度4.0

【特長】・本体設置が容易/設置工数削減カバー等の外装部品を外すことなく、本体設置が可能・ボールねじ駆動

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	50 ～ 1000	10.1～20.0 / 20.1～50.0 / 50.1～100.0	14 ～ 65	0～2.0 / 2.1～5.0 / 5.1～10.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	2 ～ 23	転造ボールねじ	あり

通常価格(税別) ：	90,804円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータロッドタイプ LEYシリーズステップモータ・サーボモータ

SMC

電動アクチュエータロッドタイプ LEYシリーズステップモータ・サーボモータ

評価 0.0

【特長】・ロングストローク対応：MAX.500mm・直接取付3方向、金具取付3種類・オートスイッチ取付可能・速度制御・位置決め：最大64点・押当て制御の切替可能ワーク等にロッドを押し当てた状態での保持が可能

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	ロッド	30 ～ 500	5.1～10.0 / 20.1～50.0 / 50.1～100.0	10 ～ 90	0～2.0 / 2.1～5.0 / 5.1～10.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0 / 50.1～100.0	2 ～ 53	転造ボールねじ	なし

通常価格(税別) ：	72,409円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータガイド付ロッドタイプ LEYGシリーズステップモータ・サーボモータ

SMC

電動アクチュエータガイド付ロッドタイプ LEYGシリーズステップモータ・サーボモータ

評価 0.0

【特長】・ガイドロッドをコンパクトに一体化、耐横荷重・高精度回り止めを実現・先端横荷重：5倍（ロッドタイプ、サイズ25,100ストロークでの比較）・すべり軸受、ボールブッシュ軸受に対応・押当て制御の切替可能ワーク等にロッドを押し当てた状態での保持が可能

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	ロッド	50 ～ 200	5.1～10.0 / 50.1～100.0	10 ～ 55	0～2.0 / 10.1～20.0	1.5 ～ 15	転造ボールねじ	あり

通常価格(税別) ：	90,839円～
通常出荷日：	19日目

ステップモータコントローラ JXCE1・91・P1・D1・L1・M1シリーズ

SMC

ステップモータコントローラ JXCE1・91・P1・D1・L1・M1シリーズ

評価 0.0

【特長】・2種類の動作指示方法に対応ステップNo.指示運転、数値指示運転・通信ケーブルの渡り配線が可能・数値モニタ対応

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
周辺部品	-	-	-	-	-	-	-	-

通常価格(税別) ：	458円～
通常出荷日：	19日目

電動スライドテーブル高剛性タイプ LESHシリーズ

SMC

電動スライドテーブル高剛性タイプ LESHシリーズ

評価 0.0

ガイドレールとテーブルを一体化循環式リニアガイド採用。【特長】・コンパクト・省スペース・体積比61％減・モータをボディに内蔵・対称形Lタイプ：テーブルおよびケーブルの位置がRタイプと反対になり設計の幅が広がります・モータストレート形Dタイプ：幅寸法を短縮、MAX.45％減

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	50 ～ 150	10.1～20.0	12	2.1～5.0	4	すべりねじ	あり

通常価格(税別) ：	114,747円～
通常出荷日：	19日目

電動スライドテーブル薄形タイプ LESシリーズ

SMC

電動スライドテーブル薄形タイプ LESシリーズ

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薄形タイプの電動アクチュエータ。【特長】・薄形：LESHと比較しワーク取付面高さ：最大12％減・垂直可搬質量：MAX.50％UP（可動部質量低減による、LESH16との比較）・軽量：最大29％減・最大押当て推力：180N・タクトタイムの短縮が可能最大加減速度：5,000mm/s2最大速度：400mm/s

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	30 ～ 75	0～2.0 / 2.1～5.0	1 ～ 3	0～2.0 / 2.1～5.0	0.5 ～ 3	すべりねじ	あり

通常価格(税別) ：	77,271円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータ高剛性高精度スライダタイプ LEKFSシリーズステップモータ

SMC

電動アクチュエータ高剛性高精度スライダタイプ LEKFSシリーズステップモータ

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サーキュラーアーク溝採用により高剛性高精度を実現。【特長】・耐モーメント：最大61％向上（LEFSとの比較）・テーブル変位量：最大50％低減（LEFSとの比較）・バッテリレスアブソリュートエンコーダ搭載・電源復帰時、停止位置からの再始動が可能・メンテナンス軽減（バッテリの管理・交換不要）・繰返し位置決め精度：±0.01mm（Hリードは除く）

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	100 ～ 500	20.1～50.0 / 50.1～100.0	45 ～ 65	5.1～10.0 / 20.1～50.0	10 ～ 23	転造ボールねじ	あり

通常価格(税別) ：	121,160円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズステップモータ・サーボモータ

SMC

電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズステップモータ・サーボモータ

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SMC社の単軸ロボットスライダタイプの電動アクチュエータです。

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	300 ～ 1200	0～2.0 / 5.1～10.0 / 10.1～20.0	1 ～ 19	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	85,122円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータミニチュアスライドテーブルタイプ LEPSシリーズステップモータ

SMC

電動アクチュエータミニチュアスライドテーブルタイプ LEPSシリーズステップモータ

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【特長】・高推力タイプ/基本形・小型・軽量化にすぐれたモータコンパクトタイプ

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	25 ～ 50	0～2.0	1 ～ 2	0～2.0	0.5 ～ 1.5	すべりねじ	あり

通常価格(税別) ：	74,300円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータ薄形スライダタイプリニアガイド1軸形・2軸形 LEMH/LEMHTシリーズ

SMC

電動アクチュエータ薄形スライダタイプリニアガイド1軸形・2軸形 LEMH/LEMHTシリーズ

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【特長】・薄形低重心ベルト駆動とガイド部のオフセット構造によりテーブル高さを薄形化・エアシリンダライクの端々制御（中間停止12点可能）。数値入力による簡単位置設定・従来品E-MY2シリーズと取付互換性があります・高いメンテナンス性・モータ取付位置：上下、左右選択可能・リミット確認用、中間信号確認用に無接点オートスイッチ取付可能

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	100 ～ 300	5.1～10.0 / 10.1～20.0	10 ～ 20	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	135,720円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータガイドロッドスライダベルト駆動 LELシリーズステップモータ

SMC

電動アクチュエータガイドロッドスライダベルト駆動 LELシリーズステップモータ

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【特長】・薄形低重心・高精度/高剛性・設置工数削減・質量約37％減・ワークのモータへの干渉なし・ベルト駆動

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	スライダ	300 ～ 500	2.1～5.0	5	-	-	ベルト	あり

通常価格(税別) ：	83,264円～
通常出荷日：	19日目

電動アクチュエータロッドタイプ耐塵・防滴（IP65相当）仕様 LEY-X5シリーズ

SMC

電動アクチュエータロッドタイプ耐塵・防滴（IP65相当）仕様 LEY-X5シリーズ

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【特長】・保護構造：IP65相当・最大ストローク500mmまで対応可能

本体/周辺部品	種類	ストローク(mm)	最大可搬質量範囲（水平）(kg)	最大可搬質量（水平）(kg)	最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	最大可搬質量（垂直）(kg)	駆動方式	ガイド
本体	ロッド	200	20.1～50.0	40	5.1～10.0	10	転造ボールねじ	なし

通常価格(税別) ：	107,570円
通常出荷日：	19日目


メーカー
シリーズ名
通常価格 (税別)
通常出荷日
本体/周辺部品
種類
ストローク(mm)
最大可搬質量範囲（水平）(kg)
最大可搬質量（水平）(kg)
最大可搬質量範囲（垂直）(kg)
最大可搬質量（垂直）(kg)
駆動方式
ガイド
リード(mm)
入力電源
位置検出
入出力種類
テーブル幅 W1(mm)
ブレーキ
最大推力（範囲）(N)
最大推力(N)
ノイズフィルタ
テーブル長 L1(mm)
使用環境
繰返し位置決め精度(μm)
最高速度(mm/sec)


メーカー	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC
シリーズ名	電動アクチュエータスライダタイプボールねじ駆動 LEFSシリーズステップモータ・サーボモータ	電動アクチュエータロッドタイプ LEYシリーズステップモータ・サーボモータ	電動アクチュエータガイド付ロッドタイプ LEYGシリーズステップモータ・サーボモータ	ステップモータコントローラ JXCE1・91・P1・D1・L1・M1シリーズ	電動スライドテーブル高剛性タイプ LESHシリーズ	電動スライドテーブル薄形タイプ LESシリーズ	電動アクチュエータ高剛性高精度スライダタイプ LEKFSシリーズステップモータ	電動アクチュエータスライダタイプベルト駆動 LEFBシリーズステップモータ・サーボモータ	電動アクチュエータミニチュアスライドテーブルタイプ LEPSシリーズステップモータ	電動アクチュエータ薄形スライダタイプリニアガイド1軸形・2軸形 LEMH/LEMHTシリーズ	電動アクチュエータガイドロッドスライダベルト駆動 LELシリーズステップモータ	電動アクチュエータロッドタイプ耐塵・防滴（IP65相当）仕様 LEY-X5シリーズ
通常価格 (税別)	90,804円～	72,409円～	90,839円～	458円～	114,747円～	77,271円～	121,160円～	85,122円～	74,300円～	135,720円～	83,264円～	107,570円
通常出荷日	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目
本体/周辺部品	本体	本体	本体	周辺部品	本体	本体	本体	本体	本体	本体	本体	本体
種類	スライダ	ロッド	ロッド	-	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	スライダ	ロッド
ストローク(mm)	50 ～ 1000	30 ～ 500	50 ～ 200	-	50 ～ 150	30 ～ 75	100 ～ 500	300 ～ 1200	25 ～ 50	100 ～ 300	300 ～ 500	200
最大可搬質量範囲（水平）(kg)	10.1～20.0 / 20.1～50.0 / 50.1～100.0	5.1～10.0 / 20.1～50.0 / 50.1～100.0	5.1～10.0 / 50.1～100.0	-	10.1～20.0	0～2.0 / 2.1～5.0	20.1～50.0 / 50.1～100.0	0～2.0 / 5.1～10.0 / 10.1～20.0	0～2.0	5.1～10.0 / 10.1～20.0	2.1～5.0	20.1～50.0
最大可搬質量（水平）(kg)	14 ～ 65	10 ～ 90	10 ～ 55	-	12	1 ～ 3	45 ～ 65	1 ～ 19	1 ～ 2	10 ～ 20	5	40
最大可搬質量範囲（垂直）(kg)	0～2.0 / 2.1～5.0 / 5.1～10.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0	0～2.0 / 2.1～5.0 / 5.1～10.0 / 10.1～20.0 / 20.1～50.0 / 50.1～100.0	0～2.0 / 10.1～20.0	-	2.1～5.0	0～2.0 / 2.1～5.0	5.1～10.0 / 20.1～50.0	-	0～2.0	-	-	5.1～10.0
最大可搬質量（垂直）(kg)	2 ～ 23	2 ～ 53	1.5 ～ 15	-	4	0.5 ～ 3	10 ～ 23	-	0.5 ～ 1.5	-	-	10
駆動方式	転造ボールねじ	転造ボールねじ	転造ボールねじ	-	すべりねじ	すべりねじ	転造ボールねじ	ベルト	すべりねじ	ベルト	ベルト	転造ボールねじ
ガイド	あり	なし	あり	-	あり	あり	あり	あり	あり	あり	あり	なし
リード(mm)	5 ～ 24	2.5 ～ 10	6 ～ 10	-	8	4 ～ 10	10 ～ 16	48相当	4 ～ 10	48相当	48相当	16
入力電源	DC24V	DC24V	DC24V	-	DC24V	DC24V	DC24V	DC24V	DC24V	DC24V	DC24V	DC24V
位置検出	インクリメンタル	インクリメンタル	インクリメンタル	-	インクリメンタル	インクリメンタル	アブソリュート	インクリメンタル	インクリメンタル	インクリメンタル	インクリメンタル	インクリメンタル
入出力種類	IO-Link	IO-Link	IO-Link	IO-Link	IO-Link	IO-Link	IO-Link	IO-Link	IO-Link	IO-Link	IO-Link	IO-Link
テーブル幅 W1(mm)	39.4 ～ 74	-	-	-	61	32.2 ～ 40.2	60 ～ 74	39.4 ～ 60	19 ～ 24	50.4 ～ 124.7	56	-
ブレーキ	なし / あり	なし / あり	なし	-	なし / あり	なし	-	なし	なし	なし	なし	なし
最大推力（範囲）(N)	101～200 / 201～300 / 301～500 / 501～1000	～100 / 101～200 / 201～300 / 301～500 / 501～1000 / 1001～	～100 / 201～300	-	101～200	～100	-	～100 / 101～200	～100	～100 / 101～200	～100	101～200
最大推力(N)	137.2 ～ 637	38 ～ 1058	38 ～ 238	-	180	15 ～ 55	-	9.8 ～ 186.2	20 ～ 50	98 ～ 196	49	189
ノイズフィルタ	なし	なし	なし	-	なし	なし	-	なし	なし	なし	なし	なし
テーブル長 L1(mm)	72 ～ 170	-	-	-	143 ～ 285	88.5 ～ 174.5	122 ～ 170	72 ～ 122	88.2 ～ 113.2	70 ～ 100	82	-
使用環境	標準	標準	標準	-	標準	標準 / 防塵	標準	標準	標準	標準	標準	防塵 / 防滴
繰返し位置決め精度(μm)	±15 ～ ±20	±20	±20	-	±50	±50	±10	±80	±50	±80	±80	±20
最高速度(mm/sec)	170 ～ 1000	125 ～ 500	250 ～ 500	-	150	200 ～ 400	300 ～ 650	1100 ～ 1500	150 ～ 350	2000	1000	400