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単軸ロボット(最大可搬質量範囲(水平):10.1~20.0 2ページ目)

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  • 電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP69K相当)仕様  HF2A-LEYシリーズ

    SMC

    電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP69K相当)仕様 HF2A-LEYシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・保護構造:IP69K相当液だまりしにくい滑らかなデザイン外観部品:SUS304スクレーパ・固定シール:FDA適合材料(青色)使用グリース:NSF H1グレード・食品製造業界向機器外観部材に潤滑・防錆剤未使用または食品機械用潤滑・防錆剤を使用FDA認証材料もしくは適合材料を使用
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 50 ~ 200 10.1~20.0 18 5.1~10.0 8 転造ボールねじ なし
    通常価格(税別) : 268,891円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 単軸ロボットRSD1

    ミスミ

    単軸ロボットRSD1

    評価 0.0
    ロッドタイプ(ステッピングモータ仕様)最大可搬質量:水平20kg/垂直8kg、最大押付力:100N、ストローク:50~200mm、最高速度:500mm/sec
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 50 ~ 200 10.1~20.0 20 5.1~10.0 8 転造ボールねじ なし
    通常出荷日 : 10日目
  • バッテリレス アブソリュートエンコーダ付 電動アクチュエータ スライダタイプ ベルト駆動

    SMC

    バッテリレス アブソリュートエンコーダ付 電動アクチュエータ スライダタイプ ベルト駆動

    評価 0.0
    【特長】・停止位置からの再始動が可能・電源復帰時の運転再開を容易に!・バッテリ非搭載によりメンテナンス軽減
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 900 ~ 2000 10.1~20.0 19 - - ベルト あり
    通常価格(税別) : 102,467円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 電動アクチュエータ ロッドタイプ 二次電池対応 25A-LEYシリーズ ACサーボモータ LECS□

    SMC

    電動アクチュエータ ロッドタイプ 二次電池対応 25A-LEYシリーズ ACサーボモータ LECS□

    評価 0.0
    【二次電池対応シリーズ】二次電池製造工程において製品不良を削減するため、銅(Cu)、亜鉛(Zn)材質は使用していません。(モータ、ケーブル、コントローラ/ドライバを除く)一部のアルミ合金やアルミダイカスト材は、添加元素として少量の銅(Cu)、亜鉛(Zn)を含んでいます。銅下地のある電解ニッケルめっき、亜鉛めっきは使用していません。(無電解ニッケルめっきは使用しています。)低露点対応グリース使用、-70℃対応、低露点環境下での性能向上。
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 30 ~ 150 10.1~20.0 18 5.1~10.0 8 転造ボールねじ なし
    通常価格(税別) : 68,325円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 電動アクチュエータ 高剛性スライダタイプ ベルト駆動 LEJBシリーズ ACサーボモータ LECY□

    SMC

    電動アクチュエータ 高剛性スライダタイプ ベルト駆動 LEJBシリーズ ACサーボモータ LECY□

    評価 0.0
    【特長】・薄形低重心・高精度/高剛性・設置工数削減・質量約37%減・ワークのモータへの干渉なし・ベルト駆動
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 200 ~ 1000 10.1~20.0 20 - - ベルト あり
    通常価格(税別) : 200,221円~
    通常出荷日 : 18日目~
  • 電動アクチュエータ スライダタイプ ボールねじ駆動 二次電池対応 25A-LEFSシリーズ

    SMC

    電動アクチュエータ スライダタイプ ボールねじ駆動 二次電池対応 25A-LEFSシリーズ

    評価 0.0
    【二次電池対応シリーズ】二次電池製造工程において製品不良を削減するため、銅(Cu)、亜鉛(Zn)材質は使用していません。(モータ、ケーブル、コントローラ/ドライバを除く)一部のアルミ合金やアルミダイカスト材は、添加元素として少量の銅(Cu)、亜鉛(Zn)を含んでいます。銅下地のある電解ニッケルめっき、亜鉛めっきは使用していません。(無電解ニッケルめっきは使用しています。)低露点対応グリース使用、-70℃対応、低露点環境下での性能向上。
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 50 ~ 600 10.1~20.0 14 ~ 20 0~2.0 / 2.1~5.0 / 5.1~10.0 2 ~ 7.5 転造ボールねじ あり
    通常価格(税別) : 82,691円~
    通常出荷日 : 19日目
  • 電動アクチュエータ 高剛性スライダタイプ ボールねじ駆動 25A-LEJSシリーズ LECS□

    SMC

    電動アクチュエータ 高剛性スライダタイプ ボールねじ駆動 25A-LEJSシリーズ LECS□

    評価 0.0
    【二次電池対応シリーズ】二次電池製造工程において製品不良を削減するため、銅(Cu)、亜鉛(Zn)材質は使用していません。(モータ、ケーブル、コントローラ/ドライバを除く)一部のアルミ合金やアルミダイカスト材は、添加元素として少量の銅(Cu)、亜鉛(Zn)を含んでいます。銅下地のある電解ニッケルめっき、亜鉛めっきは使用していません。(無電解ニッケルめっきは使用しています。)低露点対応グリース使用、-70℃対応、低露点環境下での性能向上。
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 200 ~ 900 10.1~20.0 15 2.1~5.0 3 転造ボールねじ あり
    通常価格(税別) : 220,349円~
    通常出荷日 : 19日目
  • バッテリレス アブソリュートエンコーダ 電動アクチュエータ 高タクト対応ガイド付ロッドタイプ LEG

    SMC

    バッテリレス アブソリュートエンコーダ 電動アクチュエータ 高タクト対応ガイド付ロッドタイプ LEG

    評価 0.0
    【特長】・最大搬送物質量:75kg(サイズ25)、100kg(サイズ32)、150kg(サイズ40)・高タクトコントローラ対応 最大加減速度:5000mm/s2・バッテリレスアブソリュートエンコーダ搭載・オートスイッチに対応(ストレートのみ)・リミット確認用、中間信号確認用(ストレートのみ)・ガイドユニットをコンパクトに一体化し、耐横荷重を向上
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 30 ~ 100 10.1~20.0 20 20.1~50.0 24 転造ボールねじ あり
    通常価格(税別) : 70,700円~
    通常出荷日 : 11日目
  • 単軸ロボットクリーン RSH1C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RSH1C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となります大型・高荷重クリーンタイプの単軸ロボット(サーボモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 800 10.1~20.0 12 ~ 20 2.1~5.0 4 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 10日目
  • 単軸ロボットクリーン RSH2C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RSH2C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となります大型・高荷重クリーンタイプの単軸ロボット(サーボモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)[RSH2C仕様]最大可搬質量:水平50kg/垂直16kg、ストローク:150~1050mm、最高速度:1800mm/sec、サーボモータ仕様・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 10.1~20.0 20 2.1~5.0 4 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 10日目
  • 単軸ロボットRSH5

    ミスミ

    単軸ロボットRSH5

    評価 0.0
    高荷重タイプ(サーボモータ仕様)最大可搬質量:水平40kg/垂直8kg、ストローク:150~800mm、最高速度:1200mm/sec
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 10.1~20.0 15 - - 転造ボールねじ あり
    通常出荷日 : 10日目
  • アクチュエータ ロッドタイプ ラジアル荷重対応型 モータ100W用

    ミスミ

    アクチュエータ ロッドタイプ ラジアル荷重対応型 モータ100W用

    評価 0.0
    ミスミからアクチュエータ ロッドタイプが初登場!各種モータに対応でき、ラジアル荷重に強い構造で安定した直線運動が可能です。
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 50 ~ 600 10.1~20.0 15 2.1~5.0 5 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 18日目~
  • 単軸ロボットRSDG1

    ミスミ

    単軸ロボットRSDG1

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となります[RSDG1仕様]最大可搬質量:水平20kg/垂直7.5kg、最大押付力:100N、ストローク:50~200mm、最高速度:500mm/sec、ステッピングモータ仕様・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 50 ~ 200 10.1~20.0 20 5.1~10.0 7.5 転造ボールねじ あり
    通常出荷日 : 10日目
  • 単軸ロボットRSH4

    ミスミ

    単軸ロボットRSH4

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず7日目出荷品となります[RSH4仕様]最大可搬質量:水平60kg/垂直20kg、ストローク:150~1050mm、最高速度:1800mm/sec、サーボモータ仕様・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 ~ 1050 10.1~20.0 15 ~ 20 2.1~5.0 4 転造ボールねじ あり
    通常出荷日 : 10日目
  • 単軸ロボットクリーン RS3C

    ミスミ

    単軸ロボットクリーン RS3C

    評価 0.0
    この商品は土祝含まず4日目出荷品となりますクリーンタイプの単軸ロボット(ステッピングモータ仕様)ですクリーン度:クラス10(ISO4相当)[RS3C仕様]最大可搬質量:水平12kg/垂直4kg、ストローク:50~800mm、最高速度:1000mm/sec、ステッピングモータ仕様・RSの選定や使用方法、取扱説明書についてはこちらをご参照ください! ・「何を準備したらいいの?」、「非常停止回路の配線方法は?」などRSに関するよくあるお悩みを解決! 
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 50 ~ 800 10.1~20.0 12 2.1~5.0 4 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 10日目
  • アクチュエータ ロッドタイプ ラジアル荷重対応型 モータ200W/400W用

    ミスミ

    アクチュエータ ロッドタイプ ラジアル荷重対応型 モータ200W/400W用

    評価 0.0
    ミスミからアクチュエータ ロッドタイプが初登場!ラジアル荷重に強い構造で安定した直線運動が可能です。
    CAD :
    2D / 3D
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 ロッド 50 ~ 800 10.1~20.0 18 2.1~5.0 3 転造ボールねじ -
    通常出荷日 : 18日目~
  • 電動アクチュエータ スライダタイプ ボールねじ駆動 二次電池対応 25A-LEFSシリーズLECY□

    SMC

    電動アクチュエータ スライダタイプ ボールねじ駆動 二次電池対応 25A-LEFSシリーズLECY□

    評価 0.0
    【二次電池対応シリーズ】二次電池製造工程において製品不良を削減するため、銅(Cu)、亜鉛(Zn)材質は使用していません。(モータ、ケーブル、コントローラ/ドライバを除く)一部のアルミ合金やアルミダイカスト材は、添加元素として少量の銅(Cu)、亜鉛(Zn)を含んでいます。銅下地のある電解ニッケルめっき、亜鉛めっきは使用していません。(無電解ニッケルめっきは使用しています。)低露点対応グリース使用、-70℃対応、低露点環境下での性能向上。
    本体/周辺部品 種類 ストローク(mm) 最大可搬質量範囲(水平)(kg) 最大可搬質量(水平)(kg) 最大可搬質量範囲(垂直)(kg) 最大可搬質量(垂直)(kg) 駆動方式 ガイド
    本体 スライダ 150 10.1~20.0 20 10.1~20.0 15 転造ボールねじ あり
    通常価格(税別) : 93,412
    通常出荷日 : 19日目
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
本体/周辺部品
種類
ストローク(mm)
最大可搬質量範囲(水平)(kg)
最大可搬質量(水平)(kg)
最大可搬質量範囲(垂直)(kg)
最大可搬質量(垂直)(kg)
駆動方式
ガイド
リード(mm)
入力電源
位置検出
入出力種類
テーブル幅 W1(mm)
ブレーキ
最大推力(範囲)(N)
最大推力(N)
ノイズフィルタ
テーブル長 L1(mm)
使用環境
繰返し位置決め精度(μm)
最高速度(mm/sec)

    電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP69K相当)仕様  HF2A-LEYシリーズ

      単軸ロボットRSD1

        バッテリレス アブソリュートエンコーダ付 電動アクチュエータ スライダタイプ ベルト駆動

          電動アクチュエータ ロッドタイプ 二次電池対応 25A-LEYシリーズ ACサーボモータ LECS□

            電動アクチュエータ 高剛性スライダタイプ ベルト駆動 LEJBシリーズ ACサーボモータ LECY□

              電動アクチュエータ スライダタイプ ボールねじ駆動 二次電池対応 25A-LEFSシリーズ

                電動アクチュエータ 高剛性スライダタイプ ボールねじ駆動 25A-LEJSシリーズ LECS□

                  バッテリレス アブソリュートエンコーダ 電動アクチュエータ 高タクト対応ガイド付ロッドタイプ LEG

                    単軸ロボットクリーン RSH1C

                      単軸ロボットクリーン RSH2C

                        単軸ロボットRSH5

                          アクチュエータ ロッドタイプ ラジアル荷重対応型 モータ100W用

                            単軸ロボットRSDG1

                              単軸ロボットRSH4

                                単軸ロボットクリーン RS3C

                                  アクチュエータ ロッドタイプ ラジアル荷重対応型 モータ200W/400W用

                                    電動アクチュエータ スライダタイプ ボールねじ駆動 二次電池対応 25A-LEFSシリーズLECY□

                                    メーカー

                                    SMC

                                    ミスミ

                                    SMC

                                    SMC

                                    SMC

                                    SMC

                                    SMC

                                    SMC

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    ミスミ

                                    SMC

                                    シリーズ名

                                    電動アクチュエータ ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP69K相当)仕様 HF2A-LEYシリーズ

                                    単軸ロボットRSD1

                                    バッテリレス アブソリュートエンコーダ付 電動アクチュエータ スライダタイプ ベルト駆動

                                    電動アクチュエータ ロッドタイプ 二次電池対応 25A-LEYシリーズ ACサーボモータ LECS□

                                    電動アクチュエータ 高剛性スライダタイプ ベルト駆動 LEJBシリーズ ACサーボモータ LECY□

                                    電動アクチュエータ スライダタイプ ボールねじ駆動 二次電池対応 25A-LEFSシリーズ

                                    電動アクチュエータ 高剛性スライダタイプ ボールねじ駆動 25A-LEJSシリーズ LECS□

                                    バッテリレス アブソリュートエンコーダ 電動アクチュエータ 高タクト対応ガイド付ロッドタイプ LEG

                                    単軸ロボットクリーン RSH1C

                                    単軸ロボットクリーン RSH2C

                                    単軸ロボットRSH5

                                    アクチュエータ ロッドタイプ ラジアル荷重対応型 モータ100W用

                                    単軸ロボットRSDG1

                                    単軸ロボットRSH4

                                    単軸ロボットクリーン RS3C

                                    アクチュエータ ロッドタイプ ラジアル荷重対応型 モータ200W/400W用

                                    電動アクチュエータ スライダタイプ ボールねじ駆動 二次電池対応 25A-LEFSシリーズLECY□

                                    CAD
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    • 2D / 3D
                                    通常価格
                                    (税別)

                                    268,891円

                                    -

                                    102,467円

                                    68,325円

                                    200,221円

                                    82,691円

                                    220,349円

                                    70,700円

                                    -

                                    -

                                    -

                                    -

                                    -

                                    -

                                    -

                                    -

                                    93,412円

                                    通常出荷日 19日目 10日目 19日目 19日目 18日目~ 19日目 19日目 11日目 10日目 10日目 10日目 18日目~ 10日目 10日目 10日目 18日目~ 19日目
                                    本体/周辺部品本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体本体
                                    種類ロッドロッドスライダロッドスライダスライダスライダロッドスライダスライダスライダロッドロッドスライダスライダロッドスライダ
                                    ストローク(mm)50 ~ 20050 ~ 200900 ~ 200030 ~ 150200 ~ 100050 ~ 600200 ~ 90030 ~ 100150 ~ 800150 ~ 1050150 ~ 105050 ~ 60050 ~ 200150 ~ 105050 ~ 80050 ~ 800150
                                    最大可搬質量範囲(水平)(kg)10.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.010.1~20.0
                                    最大可搬質量(水平)(kg)182019182014 ~ 20152012 ~ 202015152015 ~ 20121820
                                    最大可搬質量範囲(垂直)(kg)5.1~10.05.1~10.0-5.1~10.0-0~2.0 / 2.1~5.0 / 5.1~10.02.1~5.020.1~50.02.1~5.02.1~5.0-2.1~5.05.1~10.02.1~5.02.1~5.02.1~5.010.1~20.0
                                    最大可搬質量(垂直)(kg)88-8-2 ~ 7.532444-57.544315
                                    駆動方式転造ボールねじ転造ボールねじベルト転造ボールねじベルト転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ転造ボールねじ
                                    ガイドなしなしありなしありありありあり--あり-ありあり--あり
                                    リード(mm)12648122710 ~ 2424612 ~ 20203010620 ~ 306206
                                    入力電源AC単相/三相200-240VDC24VDC24V--DC24V-DC24VAC単相100-115V / AC単相200-230VAC単相100-115V / AC単相200-230VAC単相100-115V / AC単相200-230V-DC24VAC単相100-115V / AC単相200-230VDC24V--
                                    位置検出インクリメンタル / アブソリュートインクリメンタルアブソリュートインクリメンタル / アブソリュートアブソリュートインクリメンタルインクリメンタル / アブソリュートアブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル / アブソリュート-インクリメンタルインクリメンタル / アブソリュートインクリメンタル-アブソリュート
                                    入出力種類-NPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / CC-Link--NPN / PNP / Ethernet-NPN / PNP / なしNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNet-NPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNet-なし
                                    テーブル幅 W1(mm)--60-10539.4 ~ 60105-7474135--11055-50
                                    ブレーキなし / ありなし / ありなし / ありなし / ありなし / ありなし / ありなしなし / ありなし / ありなし / ありなし-なし / ありなし / ありなし / あり-なし
                                    最大推力(範囲)(N)101~200~100101~200101~200101~200101~200101~200201~300~100 / 101~200~100301~500-~100301~500101~200-101~200
                                    最大推力(N)131100186.2131196137.2 ~ 19614723884 ~ 14184339170100339120200W:174、400W:374196
                                    ノイズフィルタ--なしなしなしなしなしなしなし / ありなし / あり------なし
                                    テーブル長 L1(mm)--122-16072 ~ 122160-16016090--8690-102
                                    使用環境防塵 / 防滴標準標準標準標準標準標準標準防塵防塵標準-標準標準防塵-標準
                                    繰返し位置決め精度(μm)±10±2080±20±40±20±20±20±20±10±10±10±20±10±20±1020
                                    最高速度(mm/sec)90025015009002000500 ~ 1200720 ~ 1800250720 ~ 10001000180050025018003001000450

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