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絞り込み条件
-
供給側 接続種類
- Rc(R)
- 金属管接続
- 突合せ溶接
- Rc(R)
-
供給側 配管ねじの呼び
- 1/8B
- 1/4B
- 1/2B
- 3/4B
-
供給側 配管パイプ径(φ)
- 1/2B(15A)
- 1/4B(8A)
- 1/8B(6A)
- 3/4B(20A)
- 3/8B(10A)
-
制御側 接続種類
- Rc(R)
- 金属管接続
- 突合せ溶接
- Rc(R)
-
制御側 配管ねじの呼び
- 1/8B
- 1/4B
- 1/2B
- 3/4B
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制御側 配管パイプ径(φ)
- 1/2B(15A)
- 1/4B(8A)
- 1/8B(6A)
- 3/4B(20A)
- 3/8B(10A)
-
研磨
- 機械研磨仕上げ
- 電解研磨仕上げ
-
タイプ
- KD12MS
- KD2MS
- KD4MS
- KD6MS
- KD8MS
-
出荷日
- すべて
- 11日以内
- 19日以内
高純度ガス系バルブ KD ダイヤフラムバルブ ストレートタイプ 手動 (型番リスト)
- 通常価格(税別)
- 40,270円 ～ 57,329円
- 税込価格
- 44,297円 ～ 63,062円
【特長】・「KD」シリーズは、コンパクトデザインのダイレクトダイヤフラムバルブ...
商品情報
外形図
KD4MS-VC／KD8MS-VC
KD4MS-VFC
KD6MS-SC
製品仕様
| サイズ | KD4（1/4"） | KD8（1/2"） | ||
|---|---|---|---|---|
| Cv値 | 0.27 | 0.7 | ||
| 使用最高圧力 | 0.98MPa（G） | |||
| 接ガス部内容積 | 1.36cm3 | 7.3cm3 | ||
| ストレート弁、CVCオス、OPEN状態 | ||||
| 使用流体温度範囲 | PCTFE | -10～+80℃ | ||
| 環境温度範囲 | -10～+60℃ | |||
| 検査リーク量 | 内部リーク | PCTFE | 1×10-10Pa・m3/sec以下 | |
| 外部リーク | 1×10-10Pa・m3/sec以下 | |||
| 操作圧力（自動弁） | 0.4～0.7MPa（G） | |||
| 作動耐久性※ | 手動弁 | 10万回 | ||
| 自動弁 | 400万回 | |||
※キッツSCT試験実績〔試験条件〕シート：PCTFE、流体：N2、封入圧：0.98MPa
製品グレード
| グレード | STD | EP |
|---|---|---|
| ボディ材質 | SUS316L | |
| 内面粗度 | Rz3.2μm以下 | Rz0.7μm以下 |
| 研磨 | 機械研磨仕上げ | 電解研磨仕上げ |
| 洗浄 | 脱脂洗浄+精密洗浄 + 精密洗浄 | |
| 洗浄以降の環境 | Class10（一部の製品はClass100） | |
| 梱包 | 1重 | 2重 |
製品材質
- シート：PCTFE
- ダイヤフラム：コバルト合金
規格表
※L1寸法は食込み継手のチューブ差込寸法になります。
注意・禁止事項
（1）キッツSCTバルブは、一般的な大気圧雰囲気で使用するバルブであり、真空容器内にバルブを設置しての使用はできません。
（2）バルブを加熱して使用する場合、エアー継手やチューブは使用温度に耐えることができる適切な材質を選定ください。
型番リスト
- 表示件数:
| 型番 |
供給側 接続種類 |
供給側 配管ねじの呼び |
供給側 配管パイプ径(φ) |
制御側 接続種類 |
制御側 配管ねじの呼び |
制御側 配管パイプ径(φ) |
長さ L(mm) |
高さ H(mm) |
ハンドル径 D(φ) |
研磨 | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
|---|
[Rc(R)] R
|
1/4B
|
-
|
[Rc(R)] R
|
1/4B
|
-
|
57
|
68
|
42
|
機械研磨仕上げ
| 1個 | 40,270円(
44,297円
) | 19日目 | |
[Rc(R)] Rc
|
1/4B
|
-
|
[Rc(R)] Rc
|
1/4B
|
-
|
70.6
|
68
|
42
|
電解研磨仕上げ
| 1個 | 51,582円(
56,740円
) | 11日目 | |
[金属管接続] 食込み継手
|
-
|
3/8B(10A)
|
[金属管接続] 食込み継手
|
-
|
3/8B(10A)
|
64
|
81
|
42
|
機械研磨仕上げ
| 1個 | 57,329円(
63,062円
) | 11日目 | |
[Rc(R)] R
|
1/2B
|
-
|
[Rc(R)] R
|
1/2B
|
-
|
77
|
81
|
42
|
機械研磨仕上げ
| 1個 | 53,804円(
59,184円
) | 11日目 |
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詳細情報
基本情報
【特長】
・「KD」シリーズは、コンパクトデザインのダイレクトダイヤフラムバルブとして、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです
・ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.2cm（1/4"CVCオスOpen時）まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現しています
・独自の接ガス部シール構造により高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求しました
・厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現しました
・最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及しました
カタログ
- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
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